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全自動濕法處理系統(tǒng)
- 生產(chǎn)廠家:德國Osiris
- 產(chǎn)品型號:CHEMIXX 1201
● CHEMIXX 1201是全自動濕法處理系統(tǒng),配置cassette to cassette 或foup,,支持12寸及以下尺寸晶圓或9 x 9 英寸方片的濕法處理,包括蝕刻、清潔或顯影工藝。該系統(tǒng)可配...
更新時間:2022-11-25
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大尺寸濕法處理系統(tǒng)
- 生產(chǎn)廠家:德國Osiris
- 產(chǎn)品型號:CHEMIXX 760
● CHEMIXX 760系統(tǒng)是一款大尺寸濕法系統(tǒng),支持最大樣品達535X535mm(21寸方片),更大的樣品尺寸可定制,一臺系統(tǒng)可實現(xiàn)清洗、蝕刻 、顯影 ,干燥整個工藝過程。...
更新時間:2022-11-25
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濕法刻蝕專用系統(tǒng)
- 生產(chǎn)廠家:德國Osiris
- 產(chǎn)品型號:CHEMIXX E 30Pm
● CHEMIXX E 30 濕法刻蝕系統(tǒng)專門用于掩膜版與晶圓的刻蝕與清洗,安全性能好,可使用 H2SO4, H2O2,NH4OH,HF,BOE等液體。...
更新時間:2022-11-25
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CMP后雙面清洗機
- 生產(chǎn)廠家:德國Osiris
- 產(chǎn)品型號:CHEMIXX CMP 30pm
● CHEMIXX CMP 30pm是一款專門為晶圓雙面清洗設(shè)計的系統(tǒng),獨立系統(tǒng),占地面積小,非常適合有限的空間。具有4路化學(xué)液清洗,兆聲清洗,雙面PVA刷洗,去離子水沖洗等清洗模塊,對晶圓有頂級的清洗能...
更新時間:2022-11-25
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標(biāo)準(zhǔn)濕法處理系統(tǒng)
- 生產(chǎn)廠家:德國Osiris
- 產(chǎn)品型號:CHEMIXX 30pm
● CHEMIXX 30pm濕法臺是一款半自動單面濕法系統(tǒng),主要用于晶圓或者方片的清洗,刻蝕,顯影等應(yīng)用,其中清洗部分具有化學(xué)清洗,兆聲清洗,PVA刷洗,高壓DI水沖洗,背部清洗等多種功能。...
更新時間:2022-11-25
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12寸晶圓顯影機
- 生產(chǎn)廠家:德國Osiris
- 產(chǎn)品型號:UNIXX DB20/30
● UNIXX DB30 型晶圓顯影機是一款針對12寸及以下尺寸晶圓的半自動系統(tǒng),系統(tǒng)可集成顯影,清洗,干燥等模塊,同時可用于方片顯影,最大尺寸230mm*230mm。...
更新時間:2022-11-25
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8寸晶圓顯影機
- 生產(chǎn)廠家:德國Osiris
- 產(chǎn)品型號:UNIXX D20
● UNIXX DB20 型晶圓顯影機是一款針對8寸及以下尺寸晶圓的半自動系統(tǒng),系統(tǒng)可集成顯影,清洗,干燥等模塊,同時可用于方片顯影,最大尺寸150mm*150mm。...
更新時間:2022-11-25
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手動晶圓烘焙熱板系統(tǒng)
- 生產(chǎn)廠家:德國Osiris
- 產(chǎn)品型號:UNIXX HTp20
● UNIXX HTp20型熱板是一款手動桌面型烘焙系統(tǒng),采用手動PID控制器和定時器開關(guān)可確保高的溫度控制精度。用于晶圓的單面烘烤,可用于預(yù)烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底膠涂覆...
更新時間:2022-11-24
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半自動晶圓烘焙熱板系統(tǒng)
- 生產(chǎn)廠家:德國Osiris
- 產(chǎn)品型號:UNIXX HTe20
● UNIXX HTe20型熱板是一款桌面型半自動烘焙系統(tǒng),用于晶圓的單面烘烤,可用于預(yù)烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底膠涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake...
更新時間:2022-11-24
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